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翹曲-29.jpg

    

晶圓翹曲調控膜
    
🦖傳統解決 #晶圓翹曲 的方法是
使用HF與HNO3混合液，進行 #矽濕式蝕刻
🦾晶化的翹曲調控膜只需要貼在晶圓的背後加溫固化即可
簡單好用又不傷晶圓，目前 #半導體 封測A公司就是用這個方法😁
   
從圖片可以看到原本12"晶圓是上翹2294um
貼完我們的翹曲調控膜之後變成下彎2271um
    

https://www.applichem.com.tw/news-detail-3238129.html

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