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雷射解膠膜 Laser De-bonding Film
雷射剝離(laser debonding)是一種通過雷射來實現剝離的技術。該方法的剝離機制依賴於:雷射種類、臨時鍵合膠,以及用於該技術的特定釋放層。紅外雷射剝離依靠熱過程進行工作:將光吸收並轉化為熱能,從而在鍵合界面內產生高溫。紫外雷射剝離則通常依靠化學過程進行工作:使用光吸收的能量來破壞化學鍵。破壞聚合物的化學鍵會導致原始聚合物進行分解。分解物包括氣體,就會增加鍵合界面的壓力,因而幫助剝離。由於在剝離步驟前,臨時鍵合膠對晶圓具有很高的附著力,因此這種方法非常適用於FoWLP應用中。
優勢:
●台灣自主研發Laser de-bond Film (台灣研發 , 台灣生產)
●可客製化開發特性
●膜材使用性佳
●可光學對位
●耐熱性好
- ●可用於多種雷射光波長(308/355/532/1064 nm),吸收效率高
●耐化性優於美廠液態雷射解膠產品,過後續蝕刻等製程不掉落
●操作性佳,可取代傳統雷射解黏膠 (Laser De-bond Paste)
●膜材具有固晶(Die bond)的特性,節省成本
●0-5度保存,節能減碳
產品比較:
產品 | 雷射解膠液 Laser De-Bond Liquid | 雷射解膠膜 Laser De-Bond Film |
耐熱性 | 好 | 好 |
耐化性 | 一般 | 好 |
操作性 | 一般 | 好 |
可否固晶(Die Bond) | 不行 | 可以 |
光學對位 | 可以 | 可以 |
https://www.applichem.com.tw/news-detail-3294483.html
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